[发明专利]一种微波谐振腔在审
| 申请号： | 202210698835.3 | 申请日： | 2022-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN114976559A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 林伟群;乐卫平;代兵;章兵;姚志毅;唐亚海;郭蕾;刘涛 | 申请（专利权）人： | 深圳市恒运昌真空技术有限公司 |
| 主分类号： | H01P7/06 | 分类号： | H01P7/06 |
| 代理公司： | 北京惟盛达知识产权代理事务所(普通合伙) 11855 | 代理人： | 陈钊 |
| 地址： | 518100 广东省深圳市宝安区西乡街道铁*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微波谐振腔，包括：圆柱形腔室，包括嵌套的多个圆柱形腔体，用于容纳气态等离子体，所述多个圆柱形腔体具有不同尺寸；耦合天线，位于所述圆柱形腔室内部；微波窗口，用于透射微波；位于所述圆柱形腔体的腔体壁上的抽气孔，用于通过外部真空系统实现腔体内部的真空；位于腔体内部的样品台，用于放置材料，所述样品台与冷却通道移动连接；内嵌在腔体壁中的冷却通道，用于对所述微波谐振腔进行冷却。微波谐振腔的结构合理，能够保证在较宽的工艺范围内实现微波能量的高效耦合，从而制备高品质金刚石单晶材料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微波 谐振腔 | ||
【主权项】：
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