[发明专利]一种弹性探针卡制备方法、弹性探针卡在审
| 申请号： | 202210684321.2 | 申请日： | 2022-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN115078792A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 刘才君;刘旭 | 申请（专利权）人： | 深圳市容微精密电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R3/00 | 分类号： | G01R3/00;G01R1/067;G01R1/073 |
| 代理公司： | 深圳市鼎智专利代理事务所(普通合伙) 44411 | 代理人： | 张小晶 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区观湖街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种弹性探针卡制备方法和一种弹性探针卡，本发明通过第一刻蚀图案对基板进行刻蚀以得到基部和连接在基部上的探针构成的探针卡，其中，探针的弹性部由多个相间设置的反向凸起首尾连接形成，使得探针具有较好的弹性形变效果，并通过第二刻蚀图案对金属层进行刻蚀得到表面金属化的探针，使得探针之间实现电气隔离，并增加了探针的强度，使得探针在弹性形变时更稳定，本发明通过仅仅采用两次掩膜即可制得间距较小的弹性探针卡，使得制造成本更低，制造工艺更简单，并可以对探针进行针对性的拆卸更换，大大提升了探针的使用寿命和灵活性，并更有利于进行批量制造和成本管控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 弹性 探针 制备 方法 | ||
【主权项】：
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