[发明专利]一种MEMS探针卡制备方法在审
| 申请号： | 202210684310.4 | 申请日： | 2022-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN115078791A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 刘泽鑫;王少刚 | 申请（专利权）人： | 深圳市容微精密电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R3/00 | 分类号： | G01R3/00;G01R1/067;B81C1/00 |
| 代理公司： | 深圳市鼎智专利代理事务所(普通合伙) 44411 | 代理人： | 张小晶 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区观湖街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种MEMS探针卡制备方法，本发明通过对所述第一光刻胶进行曝光显影以得到用于形成所述探针金属层的空间，并通过在所述空间内形成一所述金属层以得到所述探针金属层，通过对所述基板及所述金属层表面的所述第二光刻胶进行曝光显影以得到后续用于刻蚀所述基板的掩膜图案，根据所述掩膜图案对所述基板进行刻蚀最终得到表面金属化的所述探针卡，本发明通过MEMS工艺制备仅仅采用两次掩膜即可制得间距较小的探针，使得制造成本更低，制造工艺更简单，更有利于进行批量制造和成本管控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 探针 制备 方法 | ||
【主权项】：
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