[发明专利]全密封型石英挠性加速度计的伺服控制电路及封装结构在审
| 申请号： | 202210630594.9 | 申请日： | 2022-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN114994349A | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 徐鑫;王志勇;阮晓明;张明;闫世红 | 申请（专利权）人： | 西安微电子技术研究所 |
| 主分类号： | G01P1/02 | 分类号： | G01P1/02;G01P1/00;G01P15/125;G01P15/08 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 姚咏华 |
| 地址： | 710000 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种全密封型石英挠性加速度计的伺服控制电路及封装结构，封装结构包括多层陶瓷基板，多层陶瓷基板为一体化结构，多层陶瓷基板上布置有伺服控制电路；多层陶瓷基板外围焊接一个圆形金属围框，圆形金属围框与石英表头对接装配；多层陶瓷基板内侧设置矩形金属密封环，矩形金属密封环另一端设置矩形金属盖板；多层陶瓷基板的外侧设置基板连接焊盘，基板连接焊盘上设置菱形陶瓷盖板。通过上述封装方式，能较好的密封保护伺服控制电路，避免了潮湿环境造成裸芯片、硅基NiCr薄膜电阻块与片式阻容元件腐蚀失效的风险，可极大程度提高石英挠性加速度计伺服控制电路长期可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 密封 石英 加速度计 伺服 控制电路 封装 结构 | ||
【主权项】：
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