[发明专利]一种钨掺杂碳化钽铪薄膜材料及其制备方法在审
| 申请号： | 202210561787.3 | 申请日： | 2022-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN114959572A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 杨丽;杨果;陈环宇;银凤;吴响 | 申请（专利权）人： | 湘潭大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 长沙市融智专利事务所(普通合伙) 43114 | 代理人： | 钟丹 |
| 地址： | 411105 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种钨掺杂Ta |
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| 搜索关键词： | 一种 掺杂 碳化 薄膜 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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