[发明专利]一种用于半导体缺陷检测的高速数字锁相方法及系统在审
| 申请号： | 202210447605.X | 申请日： | 2022-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN114839182A | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 邱亮;彭滟 | 申请（专利权）人： | 邱亮;彭滟 |
| 主分类号： | G01N21/66 | 分类号： | G01N21/66;G01N21/95;G01N21/01;H03L7/18;H03M1/12 |
| 代理公司： | 上海邦德专利代理事务所(普通合伙) 31312 | 代理人： | 刘旭章 |
| 地址： | 210018 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及信号检测技术领域，具体涉及一种用于半导体缺陷检测的高速数字锁相方法及系统，本发明通过时钟树结构生成多路时钟信号，并输出该多路时钟信号进行相位对齐，同时发送指令将使芯片内置的通用参考信号定时器复位，控制所有的时钟输出分频器同步对齐；或通过上位机软件设置生成确定数量的输出脉冲，用作系统内部的参考信号脉冲。本发明相比于利用锁相环时钟芯片产生信号的方案而言，时钟树结构具有更低的相位噪声，时钟抖动更小。将其应用在时间交替并行ADC采样结构中，能有效保证数据采集系统的有效位数和动态范围，本发明具有更好的频谱宽度和更高的信噪比，性能优异，实现了对高速宽带信号的高精度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 半导体 缺陷 检测 高速 数字 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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