[发明专利]一种盘刹机构及晶圆载台有效

专利信息
申请号: 202210317570.8 申请日: 2022-03-29
公开(公告)号: CN114683226B 公开(公告)日: 2022-12-02
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 苏州矽行半导体技术有限公司
主分类号: B25H1/14 分类号: B25H1/14;B25H1/00;H01L21/687;H01L21/68
代理公司: 北京千壹知识产权代理事务所(普通合伙) 11940 代理人: 王玉玲
地址: 213166 江苏省苏州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供了一种盘刹机构及晶圆载台,属于高精机台领域,盘刹机构包括交叠设置的底座刹车致动单元和载盘下接单元,底座刹车致动单元固定至底座上方,载盘下接单元从载盘的下方连接载盘;底座刹车致动单元用于致动吸合或分离载盘下接单元,以此实现载盘的刹车与否;晶圆载台包括载台主轴、载盘、载台底座、载台气浮地脚、载盘刹车组件、主轴弹性支撑组件和回正组件;盘刹机构设置在载台底座和载盘之间,用于载盘的被动刹车定位;通过本发明,对被动转动的载盘提供刹车定位功能,降低了成本,保证了载台的精度和稳定性,便于在带有运动台的半导体量检测、高精加工领域中推广应用。
搜索关键词: 一种 机构 晶圆载台
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  • 本发明公开了一种油液增压协同制动的静压支撑回转工作台,涉及静压支撑工作台技术领域,包括支撑缸和支撑柱,支撑柱顶端固定有工作台,支撑柱下部和支撑缸的内侧形成静压支撑油腔;制动活塞密封滑动连接在支撑缸的内侧壁,制动活塞侧壁具有限制滑槽,限制滑槽与支撑缸内侧壁上的限制滑条配合;制动活塞底面与支撑缸的内底、侧壁形成制动油腔,制动活塞顶面具有凸起的制动块,制动块四周固定有多个硬质橡胶材质的制动瓣;支撑柱底面开设有与制动块配合的制动槽,制动槽四周开设有与制动瓣配合的定位槽。本发明整体过程通过油液控制制动瓣和定位槽的插接定位,同时由于制动活塞上升过程中静压支撑油腔的油压缓慢增大,辅助提高了支撑柱的稳定性。
  • 一种用于工业加工的转位工作台定位与锁紧装置-202211722771.2
  • 兰兰 - 兰兰
  • 2022-12-30 - 2023-09-29 - B25H1/14
  • 本发明提供一种用于工业加工的转位工作台定位与锁紧装置,涉及工作台技术领域,导柱与设置在支撑架顶端的电磁铁相匹配,托板的顶端面上呈直线阵列安装有两处称重器,托板的顶端面上固定连接有万向球,解决了转位工作台在使用时,为了更好的适应加工,一般需要通过电机进行旋转控制,但其单纯的依靠电机的自锁难以实现转位工作台的定位工作,进而会影响对工业产品的正常加工,进而存在着局限性的问题,通过启动安装在支撑座中的电动推杆B对滑块以及限位架进行同步的拉扯运动,直至在当设置在托板顶端面上的两处称重器检测到当前工件稳妥放置在支撑座之上即可,进而达到更加利于后续对工件进行加工的目的。
  • 一种多自由度的空间运动平台-202320658182.6
  • 苏章强;石小林;刘正;周金凡 - 长沙指南机电科技有限公司
  • 2023-03-29 - 2023-09-29 - B25H1/14
  • 本实用新型属于运动平台领域,提供了一种多自由度的空间运动平台,活动架,包括活动架、活动组件和夹持组件;活动架,包括横轴活动架、垂直设置在横轴活动架上的纵轴活动架和垂直设置在纵轴活动架上的竖轴活动架,组成至少一个空间三轴坐标系结构,用于构成待测物在横纵竖多自由度空间中的运动路径;活动组件,位于活动架之间,用于活动架之间的连接以及驱动活动架间的相对运动;夹持组件,设置在活动架的末端,用于连接待测物,由于本实用新型设有数条活动架,能够将待测物空间运动的预设路径从纵、横、竖三轴方向进行分解,再配合位于活动架之间的连接以及驱动活动架间相对运动的活动组件,使得待测物能够实现沿预设路径的空间运动。
  • 一种新型多功能机械设备检修台装置-202320650051.3
  • 彭爱艳 - 大冶晨熠智能装备有限公司
  • 2023-03-29 - 2023-09-29 - B25H1/14
  • 本实用新型公开了一种新型多功能机械设备检修台装置,属于机械设备检修设备技术领域,一种新型多功能机械设备检修台装置,包括安装板,安装板的顶端外壁上中心处转动安装有转轴,转轴的外壁上套接有蜗轮,转轴的顶端外壁上固定有顶板,安装板位于转轴一侧的顶端外壁上安装有旋转电机;本方案设置的转轴、蜗轮、旋转电机、蜗杆、顶板、支撑筒、第一环形滑槽、限位环形槽、限位环形块、支撑块、第三支撑杆和第二液压缸的配合,便于对顶板进行旋转,满足检修台装置旋转调节的使用需求,给维修带来了方便,降低了人工劳动负担,设置的螺纹杆、支撑脚、转把和固定块的配合,在不平整路面使用时,便于对底板进行调平,使设备的使用比较稳定和安全。
  • 一种电子设备加工用工作台-202320705381.8
  • 张洪华 - 常州市扬子电子有限公司
  • 2023-04-03 - 2023-09-26 - B25H1/14
  • 本实用新型涉及电子设备加工技术领域,尤其涉及一种电子设备加工用工作台,包括工作桌,工作桌桌面为长方形,并且长方形两个短边上分别设置有左立板和右立板,左立板和右立板之间的一个长边上设置有前立板,并且左立板通过前后两个合页与工作桌桌面活动连接,在工作桌左侧侧边前后各设置有一个转轴,两个转轴分别与两个U型钢条活动连接,本实用新型提出的左立板翻转折叠,在不影响操作的同时有效外延工作台工作空间释放加工空间,并且提出的U型钢条,有效对左立板进行支撑,同时在不需要外延空间时,可以有效进行收纳,不占据工作场地。
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