[发明专利]加工装置在审
申请号: | 202180013121.8 | 申请日: | 2021-01-20 |
公开(公告)号: | CN115052710A | 公开(公告)日: | 2022-09-13 |
发明(设计)人: | 深井元树;堀聡子;白井克昌;东秀和 | 申请(专利权)人: | 东和株式会社 |
主分类号: | B23Q1/62 | 分类号: | B23Q1/62;B26D1/18;B26D7/02;B23Q1/01;H01L21/301;H05K3/00 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 杨文娟;臧建明 |
地址: | 日本京都府京都*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明不需要使加工工作台移动的移动机构且不需要波纹罩等保护罩,且包括:加工工作台2A、加工工作台2B,对加工对象物W加以保持;加工机构3,一面使用加工液一面利用旋转工具30对加工对象物W进行加工;以及移动机构5,使加工机构3至少分别在水平面上的XY方向上直线移动,相对于至少固定于XY方向上的加工工作台2A、加工工作台2B而通过移动机构5移动的加工机构3对加工对象物W进行加工。 | ||
搜索关键词: | 加工 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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