[发明专利]标记、标记的制造方法以及检测对象物在审

专利信息
申请号: 202180012380.9 申请日: 2021-01-29
公开(公告)号: CN115066591A 公开(公告)日: 2022-09-16
发明(设计)人: 古川正;大川晃次郎;谷口幸夫;藤崎英明;鹿岛启二 申请(专利权)人: 大日本印刷株式会社
主分类号: G01C15/06 分类号: G01C15/06;G01B11/00;G01B11/26;G01C15/02;G03F7/004;G03F7/09;G02B5/02
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 马莹;马建军
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明提供一种容易制造且高精度的标记。标记(1)具备:基材层(10);第1层(20),其层叠于基材层(10)的一个面上,被观察为第1颜色;以及第2层(30),其部分地层叠于第1层(20)上,被观察为与第1颜色不同的第2颜色,并且局部遮蔽第1层(20),第1层(20)能够在未层叠第2层(30)的区域内被观察到,第2层(30)由抗蚀剂材料构成。
搜索关键词: 标记 制造 方法 以及 检测 对象
【主权项】:
暂无信息
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1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

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