[实用新型]上电极和扩散器组件及化学气相沉积装置

摘要

本实用新型公开一种上电极和扩散器组件及化学气相沉积装置，包括上电极、扩散器、连接件和绝缘垫片，上电极上开设有多个安装通孔，扩散器上开设有多个与安装通孔一一对应的安装槽，连接件包括连接杆和第一限位部，连接杆具有相对设置的第一端和第二端，第二端与上电极连接，第一端穿过安装通孔插入至安装槽内，第一端设置有第一限位部，第一限位部卡设于安装槽内，以使扩散器连接于上电极，绝缘垫片夹设于第一限位部与安装槽的内壁之间。通过在连接件的第一限位部与安装槽的内壁之间夹设绝缘垫片，即使第一限位部受热膨胀后与扩散器的安装槽之间发生相对位移，也能保证连接件与扩散器之间不会产生研磨异物，提高了镀膜质量。