[实用新型]薄膜传感器有效
| 申请号： | 202121479386.0 | 申请日： | 2021-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN215726504U | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 万蔡辛;俞江彬 | 申请（专利权）人： | 上海韦尔半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;B32B25/00;B32B27/06;B32B27/28;B32B33/00 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;张靖琳 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国(上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种薄膜传感器，包括基板；位于基板之上的壳体，所述壳体与所述基板之间形成空腔，所述壳体包括将所述空腔与外部连通的连通孔；芯片，位于所述基板之上，且位于所述空腔中；疏水膜，所述疏水膜包覆在所述基板和所述芯片的外表面；以及凝胶，所述凝胶填充于所述空腔中，所述凝胶的上表面高于所述芯片的上表面。本发明提供的薄膜传感器，具有较好的防潮、防尘能力。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 传感器 | ||
【主权项】：
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