[实用新型]一种晶圆棒开方回收装置

摘要

本实用新型提供一种晶圆棒开方回收装置，包括回收箱，还包括独立于所述回收箱之外的顶固组件和传送件；所述顶固组件用于顶固所述晶圆棒被切边料，以使所述被切边料完全与所述晶圆棒本体剥离后自落至所述传送件上，再被传至所述回收箱中收集。本实用新型提出的回收装置，用于边皮收集，适用于晶圆棒开方为多边形方棒的边皮回收，可使边皮料被安全且稳妥地脱离方棒，下落至移动的传送件上，并直接随传送件传输方向被移走，防止其下落弹起造成钢线被挂断；且下落的边皮料受传送件移动的牵引力减少其受重力而引起的破裂，降低硅料损耗，亦降低生产成本。