[实用新型]液态金属存储结构、离子源及具有其的显微镜

摘要

本实用新型提供了一种液态金属存储结构、离子源及具有其的显微镜，涉及显微镜、微纳加工技术领域，解决了镓离子源存储结构存储液态镓镓的数量少镓离子源使用寿命短的问题；该液态金属存储结构包括存储本体，其下端与发射针尖连接，存储本体呈螺旋状结构，螺旋状结构的表面用以供液态金属覆盖且位于螺旋结构表面的液态金属能流至所述发射针尖；本实用新型存储本体呈螺旋状结构，存储本体通过液态金属覆盖于其螺旋状结构表面的方式存储液态金属，由于在有限的空间内，螺旋状结构具有更大的表面积和空间，相较于直线段结构而言，能够存储更多的液态金属。上述离子源和显微镜，具有稳定的离子流和较长的发射周期，能够提高离子源的使用寿命。