[发明专利]托架、半导体腔室及半导体工艺设备有效

专利信息
申请号: 202111138893.2 申请日: 2021-09-27
公开(公告)号: CN113871337B 公开(公告)日: 2023-03-24
发明(设计)人: 赵磊 申请(专利权)人: 北京北方华创微电子装备有限公司
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68;H01L21/687;H01L21/67
代理公司: 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 代理人: 施敬勃
地址: 100176 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 本申请公开一种托架、半导体腔室及半导体工艺设备,托架用于在半导体腔室内承载晶片。托架包括支撑柱、托架本体和调平装置,其中:支撑柱的一端设置有定位凸起;调平装置包括第一调节环,第一调节环定位套设于定位凸起,第一调节环的环外侧壁设置有第一斜面,第一斜面朝向第一调节环的环内倾斜;托架本体用于承载晶片,托架本体开设有贯通的避让孔,托架本体通过避让孔套设于第一调节环,避让孔的孔壁设置有与第一斜面形状相匹配的第二斜面;调平装置还包括调节组件,第一调节环具有第一变形缺口,调节组件用于向第一调节环施加驱动力。上述方案能够解决相关技术中托架在通过调平螺钉调平时存在的污染晶片、调平精度不足的问题。
搜索关键词: 托架 半导体 工艺设备
【主权项】:
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  • 2023-03-27 - 2023-10-17 - H01L21/68
  • 本申请涉及用于制造显示装置的设备和方法。用于制造显示装置的设备包括:台;面板单元,设置在台上并且包括第一对准线和平行于第一对准线延伸的第二对准线;场施加部分,向面板单元的第一对准线和第二对准线提供对准信号;以及发光元件,在第一对准线和第二对准线之间对准。对准信号具有相同的正积分值和负积分值,具有与对准信号的负峰值电压不同的正峰值电压并且具有与对准信号的负脉冲宽度不同的正脉冲宽度。
  • 一种确定开槽位置的方法和系统-202310975438.0
  • 李瑶;朱宏旭;李文文 - 环维电子(上海)有限公司
  • 2023-08-03 - 2023-10-17 - H01L21/68
  • 本发明提供了一种确定开槽位置的方法和系统,该方法包括:在基板上安装目标元件;在所述目标元件塑封前,获取所述目标元件在所述基板上的实际安装位置相对其理论安装位置的安装偏移量;根据基板定位点和所述安装偏移量确定塑封后所述目标元件上方的开槽位置。本发明可以解决打件偏移引起的开槽位置不准确的问题,从而提高开槽精度。
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