[发明专利]晶圆转移机械臂、转移方法以及晶圆夹具

摘要

本发明公开了一种晶圆转移机械臂，包括：晶圆夹具，晶圆夹具包括限位装置和至少一个托爪盘，托爪盘上设置有至少两个托爪块，限位装置包括推杆和驱动机构，驱动机构用于驱动推杆朝向收容空间水平移动，以使得位于收容空间内的晶圆边缘被夹持于推杆和托爪块之间；和机械臂本体，晶圆夹具设置于机械臂本体上，机械臂本体用于带动晶圆夹具平移和/或旋转。本发明通过设置限位装置，将位于收容空间内的晶圆夹持限位在推杆和托爪块之间，从而避免晶圆夹具在带动晶圆移动过程中，晶圆因惯性在收容空间内晃动，甚至脱离收容空间，从而提高了晶圆转移的安全性，并且有利于提高晶圆转移速度。