[发明专利]一种铝质天线蚀刻方法在审
| 申请号： | 202111058899.9 | 申请日： | 2021-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN115786914A | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 李俊;肖竞 | 申请（专利权）人： | 大富科技(安徽）股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/02 | 分类号： | C23F1/02;C23F1/36;C23G1/12;C23C22/56;C23C22/76;B08B3/12 |
| 代理公司： | 深圳市睿智专利事务所 44209 | 代理人： | 郭文姬;周慧玲 |
| 地址： | 233000 安徽省蚌埠市高*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种铝质天线蚀刻方法，包括：步骤3000，压膜前清洗铝板表面；步骤4000，在铝板表面压膜，对压膜后铝板曝光；步骤5000，蚀刻前清洗曝光后的铝板；步骤6010，使用碱性剂蚀刻清洗后的铝板，碱性蚀刻剂浓度为15%‑20%；步骤7000，清洗蚀刻后的铝板，去除铝板表面压膜；步骤8010，对铝板酸浸表面处理，使用浓度为90‑100%的硝酸和5%‑10%的氢氟酸溶液喷淋；步骤9000，浸酸后清洗铝板。本申请通过改善现有金属蚀刻的化学蚀刻相关药水流程及工艺设计，提升生产均匀一致性，提升蚀刻品质及蚀刻因子，以达到降低5G天线无源交调的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 天线 蚀刻 方法 | ||
【主权项】：
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