[发明专利]一种柔性温湿度集成传感器及其制造方法在审
| 申请号： | 202111026300.3 | 申请日： | 2021-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN113865626A | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 平建峰;邵雨舟;应义斌 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01D5/16 | 分类号： | G01D5/16;B29C39/02;B29C39/38;B29C39/42;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性温湿度集成传感器及其制造方法。PDMS柔性基底上布置电阻式温度传感器、电阻式湿度传感器，其中的电阻式温度传感器上覆盖布置PDMS封装层；电阻式湿度传感器是由第一份较高质量浓度的MXene溶液按照叉指电极图案形状覆盖固定在PDMS柔性基底上形成下层，然后再在下层上面由第二份较低质量浓度的MXene溶液按照能完整覆盖下层的图案形状覆盖固定在下层上形成上层。本发明制备过程简单，成本可控，没有重金属污染回收等问题，拥有优异柔韧性，能够紧密贴合被测物体表面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 温湿度 集成 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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