[发明专利]一种氟化物泄漏检测设备及检测方法有效
| 申请号： | 202110683719.X | 申请日： | 2021-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN113405740B | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 綦磊;孙立臣;季宇;窦仁超;任国华;郑悦;孟冬辉 | 申请（专利权）人： | 北京卫星环境工程研究所 |
| 主分类号： | G01M3/26 | 分类号： | G01M3/26 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理有限公司 11435 | 代理人： | 郭栋梁 |
| 地址： | 100094 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供一种氟化物泄漏检测设备及检测方法，其中检测设备包括收集罩、分离装置以及检测装置；收集罩上设有用于收集泄漏气体的收集口以及与分离装置连通的输出口；分离装置配置用于将泄漏气体分离；检测装置与分离装置输出端连通，用于检测分离后气体的浓度数据并计算氟化物气体的泄漏率。本申请提供的一种氟化物泄漏检测设备，可在不停机状态下对生产管道上的各个位置进行微泄漏气体的定性及定量分析，检测过程不会对生产设备造成损害，不会受设备内波动压力的干扰，检测结果较为精确。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氟化物 泄漏 检测 设备 方法 | ||
【主权项】：
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