[发明专利]一种钛钨蚀刻液及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 202110203281.0 | 申请日： | 2021-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN112981405B | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 顾群艳;梁豹;杜冰;邱柱;赵建龙;张兵;向文胜;朱坤 | 申请（专利权）人： | 江苏艾森半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/26 | 分类号： | C23F1/26;H01L21/3213;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种钛钨蚀刻液及其制备方法和应用，所述钛钨蚀刻液以重量份数计包括过氧化氢15‑30份、金属络合剂0.1‑20份、过氧化氢稳定剂0.1‑10份、pH调节剂0.1‑20份和水。本发明提供的钛钨蚀刻液蚀刻效果好，对底材无腐蚀，稳定性好，使用寿命长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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