[发明专利]测量测试样本的电性质的方法有效
| 申请号： | 202080026765.6 | 申请日： | 2020-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN113678005B | 公开（公告）日： | 2023-01-13 |
| 发明（设计）人： | A·卡利亚尼;F·W·奥斯特贝格;魏嘉宏 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/27 | 分类号： | G01R31/27;G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本方法可用于测量用在(例如)嵌入式MRAM存储器中的磁隧道结的电性质。本方法使用具有用于接触测试样本的指定区域的多个探针尖端的多点探针，所述指定区域与测试样本的待测试的部分电绝缘。电连接件放置在所述磁隧道结下面且到达所述指定区域。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 测试 样本 性质 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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