[实用新型]一种石英玻璃加热清洗槽有效
| 申请号： | 202021841605.0 | 申请日： | 2020-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN213495298U | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 李爱忠 | 申请（专利权）人： | 东海县润太石英科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330 | 代理人： | 刘刚 |
| 地址： | 222000 江苏省连云港*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体硅片加工技术领域，且公开了一种石英玻璃加热清洗槽，包括清洗槽。该石英玻璃加热清洗槽，通过设置喷头，在进行酸洗的过程中，先将硅片放置于载料斗内，电动滑轨驱动滑块向下移动，通过冲洗箱和导水箱，直至载料斗浸入清洗槽内的酸液内进行清洗，当清洗结束时，电动滑轨驱动载料斗上移，直至挡块嵌入冲洗箱的顶壁内，同时电动推杆推动两个导流挡板拼接，此时，将两个喷头外接水源从而对载料斗以及其内部的硅片进行水洗，而混合有酸液的水通过导水槽进入连通槽，最终由出水管排出而进行集中处理，整个过程都在相对密闭的空间内进行且水洗不影响清洗槽内酸液的PH值，达到了无接触水洗的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英玻璃 加热 清洗 | ||
【主权项】：
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