[实用新型]光刻机有效
| 申请号： | 202021198211.8 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN213240799U | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 安德烈·伊万金;贾里德·A·玛格林 | 申请（专利权）人： | 泰拉印刷有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华;何月华 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及光刻机。所述光刻机可以包括用于电接触式对准的配置，以用于相对于基板使探针、笔、尖端等的阵列调平对准，该光刻机包括机构，该机构用于相对于彼此定位探针阵列或基板，以使探针阵列和基板彼此平行地自动对准，从而用于随后的光刻制造，其中，通过将阵列的区域和基板区域配置成部分地导电并连接至相对的电极而形成多个独立的电路，反之亦然。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 | ||
【主权项】：
暂无信息
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