[发明专利]一种高稳定性双温区大容积炉源装置在审
| 申请号： | 202011373062.9 | 申请日： | 2020-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN112359326A | 公开（公告）日： | 2021-02-12 |
| 发明（设计）人： | 张朱锋;管家月;谢斌平 | 申请（专利权）人： | 费勉仪器科技（南京）有限公司;费勉仪器科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/54 |
| 代理公司： | 南京瑞华腾知识产权代理事务所(普通合伙) 32368 | 代理人： | 梁金娟 |
| 地址： | 210000 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高稳定性双温区大容积炉源装置，包括用于与腔体连接的真空法兰，真空法兰的一侧设置有多个热电偶馈通，真空法兰的另一侧通过支撑杆固定有支撑圆盘，支撑圆盘的上方固定有中空的外筒，外筒的内壁设置有下温区加热组件和上温区加热组件，加热组件包括多个固定片、设置在固定片上的方槽以及插接在方槽内的加热板，外筒的内部设置有坩埚，且下温区加热组件和上温区加热组件分别位于坩埚外表面的下部和上部，支撑圆盘上设置有上温区热电偶和下温区热电偶。本发明在加热区域采用多个固定片对整个加热板进行固定，可以得到更好的真空；结构简单，减少因为零件损坏而产生更换几率；固定片上所设置的方槽使得加热板的安装更加简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 稳定性 双温区大 容积 装置 | ||
【主权项】：
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