[发明专利]一种弹性波传感器、弹性波传感器装置和系统在审

专利信息
申请号: 202010576476.5 申请日: 2020-06-22
公开(公告)号: CN113900105A 公开(公告)日: 2022-01-07
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 北京钛方科技有限责任公司
主分类号: G01S15/931 分类号: G01S15/931;G01L5/00;G01H11/08
代理公司: 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 代理人: 王康;龙洪
地址: 100085 北京市海淀*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种弹性波传感器、弹性波传感器装置和系统,其中,所述弹性波传感器包括:压电材料层以及分别覆盖在所述压电材料层两个表面上的上电极和下电极,其中,所述上电极包括多个相互分隔开的独立的电极;所述下电极和所述上电极结构一致,或所述下电极包括一个公共电极。
搜索关键词: 一种 弹性 传感器 装置 系统
【主权项】:
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