[发明专利]用于对准传感器的检测系统在审
| 申请号： | 201980067050.2 | 申请日： | 2019-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN112840274A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | S·R·惠斯曼 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 张昊 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种用于对准传感器的检测系统、以及包括这种检测系统的对准传感器和光刻投影装置。检测系统包括：至少一个检测电路；以及多个光纤芯，用于将测量信号传输到至少一个检测电路。多个光纤芯的至少一个子集可选择地在检测状态和非检测状态之间切换，从而限定可配置检测斑点。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 对准 传感器 检测 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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