[发明专利]用于记录三维图像的SMI传感器的VCSEL装置

摘要

本发明涉及一种用于记录三维图像的自混合干涉传感器(300)的垂直腔面发射激光器(VCSEL)装置(100)，所述VCSEL装置(100)包括VCSEL阵列、多个检测器(140)、第一电激光器接触体(105)和至少一个第二电激光器接触体(127)，其中，VCSEL阵列包括多个激光二极管(122)，其中，每个激光二极管(122)包括光学谐振器，其中，光学谐振器包括第一分布式布拉格反射器(115)、第二分布式布拉格反射器(135)和用于发光的有源层(120)，其中，有源层(120)布置在第一分布式布拉格反射器(115)和第二分布式布拉格反射器(135)之间，其中，第一电激光器接触体(105)和所述至少一个第二电激光器接触体(127)被布置为能够提供电驱动电流，以对激光二极管(122)的光学谐振器电泵浦，其中，第一电激光器接触体(105)是VCSEL阵列的所有激光二极管(122)的公共接触体，其中，所述至少一个第二电激光器接触体(127)被布置为能够与VCSEL阵列的所述多个激光二极管(122)中的至少一个子组电接触，其中，每个检测器(140)被布置为能够在接收到激光(10)时产生与至少一个激光二极管(122)相关联的电自混合干涉测量信号。本发明还涉及一种用于记录三维(3D)图像的自混合干涉传感器(300)、VCSEL装置以及一种制造这样的VCSEL装置的方法。