[实用新型]一种改善光学镀膜行星锅均匀性的器具有效
| 申请号： | 201920677741.1 | 申请日： | 2019-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN210001917U | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 肖家骐;陈东旭;罗江平;陆绿 | 申请（专利权）人： | 福建中科光芯光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 35100 福州元创专利商标代理有限公司 | 代理人： | 吴志龙;蔡学俊 |
| 地址： | 362700 福建省泉州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种改善光学镀膜行星锅均匀性的器具，包括支撑杆，所述支撑杆上端侧部固定连接有凸杆，所述凸杆侧部固定连接有纵向设置的连接板，所述连接板顶部固定有横向挡板固定板，所述挡板固定板上固定有挡板，所述连接板是上具有与凸杆配合的轴孔，及以轴孔为圆心沿圆弧状排布的多排限位孔，所述支撑杆上还贯穿有能与限位孔配合的固定销，本实用新型结构简单能够方便地设置于行星锅和和蒸发源之间进行导向，利用限位孔和调节支撑杆与底板的角度和挡板的位置至满足工艺的要求，改善行星锅里中外膜厚的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑杆 限位孔 凸杆 行星 本实用新型 挡板 均匀性 连接板 轴孔 底板 挡板固定板 连接板顶部 圆弧状排布 圆心 光学镀膜 横向挡板 纵向设置 固定板 固定销 蒸发源 上端 多排 膜厚 配合 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种改善光学镀膜行星锅均匀性的器具，其特征在于，包括支撑杆，所述支撑杆上端侧部固定连接有凸杆，所述凸杆侧部固定连接有纵向设置的连接板，所述连接板顶部固定有横向挡板固定板，所述挡板固定板上固定有挡板，所述连接板是上具有与凸杆配合的轴孔，及以轴孔为圆心沿圆弧状排布的多排限位孔，所述支撑杆上还贯穿有能与限位孔配合的固定销。/n
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