[实用新型]一种半导体加工设备

摘要

本实用新型公开了一种半导体加工设备，包括传送链条、齿轮、清洗池、烘干箱、除电室，所述传送链条下方固定连接有自动伸缩杆，所述传送链条两端设有齿轮，所述齿轮上设有电机，所述清洗池、烘干箱、除电室设置在传送链条下方，所述清洗池底部设有加热器和超声波发生器，所述清洗池中部设有液位传感器，所述清洗池底部设有排水管，所述清洗池外部设有一号瓶，所述烘干箱底部设有加热器，所述烘干箱上部一侧设有风扇，所述除电室内部设有离子风机和静电检测仪。本实用新型具有可快速清洗、烘干、去静电的优点，其主要用于半导体加工。

主权项

1.一种半导体加工设备，包括传送链条（1）、齿轮（2）、清洗池（3）、烘干箱（4）、除电室（5），其特征在于：所述传送链条（1）下方固定连接有自动伸缩杆（18），所述自动伸缩杆（18）下方嵌入连接设有片盒（19），所述传送链条（1）两端设有齿轮（2），所述齿轮（2）与所述传送链条（1）啮合连接，所述齿轮（2）上设有电机（6），所述清洗池（3）、烘干箱（4）、除电室（5）设置在传送链条（1）下方，所述清洗池（3）底部设有加热器（11）和超声波发生器（13），所述清洗池（3）中部设有液位传感器（12），所述清洗池（3）底部设有排水管（17），所述排水管（17）上设有开关阀（16），所述清洗池（3）外部设有一号瓶（15），所述一号瓶（15）与清洗池（3）通过入水管道（14）连接，所述一号瓶（15）内设有清洗液，所述入水管道（14）上设有开关阀（16），所述烘干箱（4）底部设有加热器（11），所述烘干箱（4）上部一侧设有风扇（10），所述除电室（5）内部设有离子风机（7）和静电检测仪（9），所述电机（6）、自动伸缩杆（18）、开关阀（16）、液位传感器（12）、加热器（11）、超声波发生器（13）、风扇（10）、离子风机（7）、静电检测仪（9）通过数据线连接控制系统，所述控制系统通过数据线连接触控面板。