[实用新型]布气结构及具有其的反应腔体组件有效
| 申请号： | 201920328293.4 | 申请日： | 2019-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN210001919U | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 冯鑫彬;贾晓霞;李琳琳;曹志强;宋士佳;陈光羽 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 11240 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 张亚辉 |
| 地址： | 102209 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种布气结构及具有其的反应腔体组件，其中，布气结构包括：壳体，壳体包括侧壁，侧壁上设置有进气口和出气口，侧壁内具有气体通道，气体通道连通进气口和出气口。本实用新型的技术方案有效地解决了现有技术中的镀膜时气体分布不均匀而造成镀膜质量不佳的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 侧壁 进气口 本实用新型 布气结构 气体通道 出气口 镀膜 壳体 反应腔体 气体分布 不均匀 有效地 连通 | ||
【主权项】：
1.一种布气结构，其特征在于，包括：/n壳体(10)，所述壳体(10)包括侧壁，所述侧壁上设置有进气口(11)和出气口(12)，所述侧壁内具有气体通道，所述气体通道连通所述进气口(11)和所述出气口(12)。/n
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