[发明专利]具有扰流结构的光罩盒

摘要

本发明公开一种具有扰流结构的光罩盒，包括本体及盖体，本体的中央区域有光罩置放区，盖体盖合于本体，盖体的边缘区域与本体的边缘区域以凸部及凹部相互组合，凹部及凸部搭配形成环绕光罩置放区的扰流结构，其中扰流结构包括在凹部及凸部之间的扰流通道，且本体在形成扰流通道的表面上具有至少内缩的侧壁，以形成集尘空间。借由本发明的具有扰流结构的光罩盒，当气流挟带的尘粒自外部进入扰流通道，尘粒将被滞留于集尘空间中，因而有效阻拦尘粒进入光罩置放区。