[发明专利]显示基板的制作方法、显示基板、显示面板及显示装置在审
| 申请号： | 201911135495.8 | 申请日： | 2019-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN110838468A | 公开（公告）日： | 2020-02-25 |
| 发明（设计）人： | 潘康观;曹惠敏;魏悦;邓雷;邓伟;黎飞 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/77 | 分类号： | H01L21/77;H01L27/12 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 刘源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种显示基板的制作方法、显示基板、显示面板及显示装置，包括：提供一衬底基板；在衬底基板上依次形成刻蚀阻挡层和缓冲层；在缓冲层上依次形成有源层的图案、第一栅极层的图案、第二栅极层的图案、层间介质层的图案和第一源漏极层的图案；在第一源漏极层上形成绝缘层；采用一次构图工艺，在弯折区域形成贯穿绝缘层、缓冲层和刻蚀阻挡层的第一镂空结构。通过将相关技术中绝缘层的一道掩膜工艺与缓冲层和刻蚀阻挡层的一道掩膜工艺合并进行，使得仅通过一次构图，同时形成了绝缘层、缓冲层和刻蚀阻挡层的图案，减少了一次掩膜工序，提高了产能，节约了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 显示 制作方法 面板 显示装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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