[发明专利]恒力装置及研磨加工设备在审

专利信息
申请号: 201910534166.4 申请日: 2019-06-18
公开(公告)号: CN110142690A 公开(公告)日: 2019-08-20
发明(设计)人: 莫庆龙;许文杰 申请(专利权)人: 肇庆金马领科智能科技有限公司
主分类号: B24B37/34 分类号: B24B37/34;B24B55/04
代理公司: 北京超成律师事务所 11646 代理人: 王雪
地址: 526000 广东省肇庆市肇庆高*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本申请提供一种恒力装置及研磨加工设备,涉及智能加工领域。所述恒力装置包括用于实现恒力输出的恒定压力输出单元、可伸缩罩体和气压补偿装置。可伸缩罩体包括与外部装置连接的第一安装端口、与受力器件连接的第二安装端口、以及用于容纳所述恒定压力输出单元的密封腔。气压补偿装置包括可收缩密闭空间,可收缩密闭空间与密封腔连通,用于在密封腔的体积发生变化时,维持密封腔的气压稳定。本申请能够实现恒力装置中密封空间的气压稳定,提高恒力装置密封空间的密封特性。
搜索关键词: 恒力装置 密封腔 气压补偿装置 研磨加工设备 可伸缩罩体 安装端口 恒定压力 密闭空间 气压稳定 输出单元 可收缩 密封空间 密封特性 器件连接 外部装置 智能加工 中密封 恒力 受力 申请 连通 容纳 输出
【主权项】:
1.一种恒力装置,其特征在于,包括:恒定压力输出单元,用于实现恒力输出;可伸缩罩体,包括与外部装置连接的第一安装端口、与受力器件连接的第二安装端口、以及用于容纳所述恒定压力输出单元的密封腔;气压补偿装置,包括可收缩密闭空间,所述可收缩密闭空间与所述密封腔连通,用于在所述密封腔的体积发生变化时,维持所述密封腔的气压稳定。
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  • 2019-01-21 - 2019-08-13 - B24B37/34
  • 提供筒状波纹罩,能够容易地将该筒状波纹罩相对于驱动机构的动作区域进行装拆。筒状波纹罩(2)具有:圆环状的上环(20);长圆环状的下环(21);筒状波纹布(22),其将上下配置的上环(20)与下环(21)连结起来;以及加强环(23),其在上环(20)与下环(21)之间平行地配设有多个,对筒状波纹布(22)进行加强,该筒状波纹罩(2)具有装拆部(28),该装拆部(28)能够将上环(20)、加强环(23)和下环(21)连结成环状,并且能够将连结成环状的上环(20)、加强环(23)和下环(21)断开,筒状波纹布(22)具有将上端与下端连接起来的系固件(27),因此能够通过系固件(27)的开闭而容易地在研磨单元(32)与加工室(60)之间进行装拆(安装和拆卸),从而能够缩短作业时间。
  • 一种研磨垫的安装方法、研磨垫的拆卸方法和加热装置-201910371091.2
  • 崔世勋 - 西安奕斯伟硅片技术有限公司
  • 2019-05-06 - 2019-08-06 - B24B37/34
  • 本发明提供一种研磨垫的安装方法、研磨垫的拆卸方法和加热装置。其中,研磨垫的安装方法包括将所述研磨垫通过粘接层粘贴至定盘的预设位置;将所述研磨垫在第一预设温度下加热第一预设时长;在所述研磨垫上按压第二预设时长。研磨垫的拆卸方法,包括以下步骤:将所述研磨垫在第二预设温度下加热第三预设时长;将所述研磨垫由定盘的预设位置移除。本发明实施例通过加热研磨垫和粘接层,通过低温温度加热以软化粘接层,从而提高其粘接特性,提高了研磨垫的拆卸和安装的便利程度,有利于缩短所需的作业时间,消除作业负荷,因而能够提高作业效率及生产性。
  • 一种工作环工位自动切换单面研磨机-201821740687.2
  • 王永成 - 上海致领半导体科技发展有限公司
  • 2018-10-26 - 2019-07-26 - B24B37/34
  • 本实用新型公开了一种工作环工位自动切换单面研磨机,包括工作台、以及设置在所述工作台上的工作环组件,所述工作环组件包括旋转盘、设置在所述旋转盘上的若干工作环、以及用于定位工作环的外导轮;所述旋转盘安装在工作台的中间位置,在旋转盘下方的工作台内安装有电机,电机的输出端与旋转盘连接固定,且可驱动旋转盘以旋转盘的中心为原点转动;在所述工作台的外边沿位置设有若干外导轮,所述外导轮包括基座、转向杆和导向轮,基座固定安装在工作台上,转向杆的一端与设置在基座的轴承连接,所述导向轮安装在转向杆的另一端。
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