[发明专利]薄膜蚀刻剂组合物及使用其形成金属图案的方法在审

申请号：	201910427437.6	申请日：	2019-05-22
公开（公告）号：	CN110552006A	公开（公告）日：	2019-12-10
发明（设计）人：	金镇亨;郑周焕;金真淑;金学喆;李秉洙;金昌树;郑正植;金童基;金相泰;南基龙;朴英哲;沈庆辅;林大成;张晌勋	申请（专利权）人：	三星显示有限公司;东友精细化工有限公司
主分类号：	C23F1/02	分类号：	C23F1/02;C23F1/30;H01L27/32
代理公司：	11641 北京金宏来专利代理事务所(特殊普通合伙)	代理人：	杜正国
地址：	韩国***	国省代码：	韩国;KR
权利要求书：	查看更多	说明书：	查看更多
摘要：	提供了用于防止被蚀刻的金属的再吸附并均匀地蚀刻薄膜的薄膜蚀刻剂组合物。薄膜蚀刻剂组合物包括基于薄膜蚀刻剂组合物的总重量的约43wt％至约46wt％的磷酸、约5wt％至约8wt％的硝酸、约10wt％至约17wt％的乙酸、约1wt％至约3wt％的硝酸铁(iron nitrate)、约0.7wt％至约1.5wt％的磷酸盐和作为剩余量的去离子水。
搜索关键词：	薄膜蚀刻蚀刻乙酸去离子水磷酸盐剩余量硝酸铁硝酸磷酸吸附薄膜金属
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【主权项】：

1.一种薄膜蚀刻剂组合物，包括：/n基于所述薄膜蚀刻剂组合物的总重量的43wt％至46wt％的磷酸；/n5wt％至8wt％的硝酸；/n10wt％至17wt％的乙酸；/n1wt％至3wt％的硝酸铁；/n0.7wt％至1.5wt％的磷酸盐；以及/n作为剩余量的去离子水。/n

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亲水性润湿梯度复合楔形图化表面及制备方法与应用-201911041712.7
发明人：程江;张慧 -专利权人：华南理工大学
申请日： 2019-10-30 - 公布日： 2020-01-24 - 主分类号： C23F1/02
摘要：本发明公开了亲水性润湿梯度复合楔形图案化表面及制备方法与应用，该方法包括，首先在铜基底上粘贴一层有楔形镂空图案的固态胶掩膜，然后将铜基底垂直放入反应容器中，楔形镂空图案的尖端朝上，向反应容器中均速注入银氨溶液，当银氨溶液液面到达楔形尖端顶部时，停止注入，将铜基底取出，清洗干燥；将固态胶掩膜清除便得到所述亲水性润湿梯度复合楔形图案化表面。采用本发明所得的亲水性润湿梯度复合楔形图案化表面可实现双组分水性溶液液滴无后端钉扎、长距离地定向运动。与在单一润湿性梯度表面的定向运动相比，双组分水性溶液液滴在亲水性润湿梯度复合楔形图案化表面可运动得更远。

含铜金属层的蚀刻方法、薄膜晶体管、显示装置及蚀刻剂-201911036116.X
发明人：钱浩 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2019-10-29 - 公布日： 2020-01-21 - 主分类号： C23F1/02
摘要：本发明公开了一种含铜金属层的蚀刻方法，所述方法包括：在所述含铜金属层的上表面涂覆一层光阻；对所述光阻进行曝光显影，以形成预设的蚀刻图案；对所述含铜金属层进行湿蚀刻；以及剥离所述含铜金属层上表面的剩余的光阻，其中，所述湿蚀刻所用的蚀刻剂中含有铜离子，所述铜离子的浓度大于1500ppm。使用该方法，可有效地降低后续膜层干蚀刻过程中发生异常放电的几率，进而缓解了由该异常放电导致的机台宕机与产品不良的状况，该方法步骤简单，成本低廉。

钢片蚀刻钝化表面工艺-201810748556.7
发明人：陈彪 -专利权人：昆山迪卡特精密电子有限公司
申请日： 2018-07-10 - 公布日： 2019-12-31 - 主分类号： C23F1/02
摘要：本发明揭示了一种钢片蚀刻钝化表面工艺，加工期间，首先对不锈钢片进行清洁。之后，通过蚀刻、钝化，形成一种3D表面。由此，无须采用喷砂工艺，钢片表面不容易受污染，实施更加便捷。使用激光在此表面镭射二维码时，更容易被扫码枪识别。不锈钢片的表面是蚀刻钝化形成，表面花纹稳定性强。这样，避免了不同批次钢片表面纹路，光泽度不同镭射二维码时造成的扫码识别困难的缺陷。

薄膜蚀刻剂组合物及使用其形成金属图案的方法-201910427437.6
发明人：金镇亨;郑周焕;金真淑;金学喆;李秉洙;金昌树;郑正植;金童基;金相泰;南基龙;朴英哲;沈庆辅;林大成;张晌勋 -专利权人：三星显示有限公司;东友精细化工有限公司
申请日： 2019-05-22 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： C23F1/02
摘要：提供了用于防止被蚀刻的金属的再吸附并均匀地蚀刻薄膜的薄膜蚀刻剂组合物。薄膜蚀刻剂组合物包括基于薄膜蚀刻剂组合物的总重量的约43wt％至约46wt％的磷酸、约5wt％至约8wt％的硝酸、约10wt％至约17wt％的乙酸、约1wt％至约3wt％的硝酸铁(iron nitrate)、约0.7wt％至约1.5wt％的磷酸盐和作为剩余量的去离子水。

一种铝合金壳体及其制备方法-201511022949.2
发明人：廖重重;熊雄;石峰云;胡猷成 -专利权人：比亚迪股份有限公司
申请日： 2015-12-30 - 公布日： 2019-11-22 - 主分类号： C23F1/02
摘要：本发明公开了一种铝合金壳体，其中，该铝合金壳体的外表面具有凸部和凹部，所述凸部具有凸部氧化膜，所述凹部具有凹部氧化膜，所述凸部氧化膜和所述凹部氧化膜的表面具有90‑150的光泽度。本发明还公开了一种铝合金壳体的制备方法。本发明的铝合金壳体具有凸凹立体质感、且具有高光凸面和凹面。

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