[发明专利]一种用于提高正反平面沉积均匀性的盒式电极

摘要

本发明公开了一种用于提高正反平面沉积均匀性的盒式电极，该盒式电极由至少三层平板电极构成，位于中间层的平板电极为功率电极，位于功率电极上下两层的电极均为接地电极，三层平板电极的层与层之间通过与平板电极相互垂直设置的绝缘板分隔，将多个盒式电极由上至下依次固定设置于箱体中配置成整列结构，样品设置于两个盒式电极之间。本发明将功率电极改进为带孔的盒式电极，通过射频等离子体气相沉积工艺在材料或者物品表面进行三维同形涂覆，从而在产品表面获得同形且厚度一致的薄膜材料，提高了等离子体气相沉积的均匀性。本发明提出了新型的盒式电极结构，用功率电极和接地电极的组合形式，提高了正反两平面沉积厚度的均匀性。

主权项

1.一种用于提高正反平面沉积均匀性的盒式电极，其特征在于：所述用于提高正反平面沉积均匀性的盒式电极由至少三层平板电极构成，位于中间层的平板电极为功率电极，位于所述功率电极上下两层的电极均为接地电极，所述三层平板电极的层与层之间通过与平板电极相互垂直设置的绝缘板分隔，将多个所述盒式电极由上至下依次固定设置于箱体中配置成整列结构，样品设置于两个盒式电极之间。