[发明专利]一种芯片式三维磁场传感器有效
| 申请号： | 201910391741.X | 申请日： | 2019-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN110133546B | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 张登伟;佘玄;姚俊杰;陈侃;黄腾超;舒晓武 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01R33/032 | 分类号： | G01R33/032 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种芯片式三维磁场传感器。本发明包括光源、输入直波导、偏振分束波导、1:1功率分束器、三个1:2型Y波导、三个2:1型Y波导、三个输出直波导、三个磁光波导和三个光电探测器；光源输出宽谱消偏光到输入直波导，经偏振分束波导分为TE偏振光和TM偏振光，TE偏振光经第一1:2型Y波导分为两束TE偏振光；TM偏振光经1:1功率分束器分成两束TM偏振光，沿正Y方向传播的TM偏振光经第二1:2型Y波导分为两束TM偏振光；沿负Z方向传播的TM偏振光经第三1:2型Y波导分为等功率的两束TM偏振光。本发明的三维磁场传感器三轴单片集成，器件集成度高，尺寸小，制作工艺简单，具有高的可靠性和环境适应性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 三维 磁场 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种芯片式三维磁场传感器，其特征在于：包括光源(1)、输入直波导(2)、偏振分束波导(3)、1:1功率分束器(4)、三个1:2型Y波导、三个2:1型Y波导、三个输出直波导、三个磁光波导和三个光电探测器；输入直波导(2)与偏振分束波导(3)的输入端口相连，偏振分束波导(3)的一个输出端口依次经第一1:2型Y波导(5)、第一2:1型Y波导(9)、第一输出直波导(10)连接至第一光电探测器(11)作为一个传感轴，第一1:2型Y波导(5)的两个输出端口分别经第一磁光波导(6)和第一直波导(7)连接至第一2:1型Y波导(9)的两个输入端口；偏振分束波导(3)的另一个输出端口与1:1功率分束器(4)的输入端口相连，1:1功率分束器(4)的一个输出端口依次经第二1:2型Y波导(12)、第二2:1型Y波导(16)、第二输出直波导(17)连接至第二光电探测器(18)作为一个传感轴，第二1:2型Y波导(12)的两个输出端口分别经第二磁光波导(13)和第二直波导(14)连接至第二2:1型Y波导(16)的两个输入端口；1:1功率分束器(4)的另一个输出端口依次经第三1:2型Y波导(19)、第三2:1型Y波导(23)、第三输出直波导(24)连接至第三光电探测器(25)作为一个传感轴，第三1:2型Y波导(19)的两个输出端口分别经第三磁光波导(20)和第三调制电极(22)连接至第三2:1型Y波导(23)的两个输入端口；第一直波导(7)的两侧设有第一调制电极(8)，第二直波导(14)的两侧设有第二调制电极(15)，第三直波导(21)的两侧设有第三调制电极(22)。
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