[发明专利]用于测量平晶绝对面形的激光干涉校准测量设备及方法

摘要

本发明提供了一种用于测量平晶绝对面形的立式激光干涉测量设备以及方法。本发明的立式激光干涉测量设备包括：设备主体，具有准直透镜；参考平晶承载装置；平晶旋转承载装置，与参考平晶承载装置同光轴设置，用于作为在水平式测量状态时的待测平晶承载装置；以及平晶承托装置，替代平晶旋转承载装置，用于作为在立式测量状态时的待测平晶承载装置，其中，平晶旋转承载装置具有固定盘、旋转承载部以及限定部，限定部用于在旋转盘切换至第一位置时将旋转盘限定在第一位置以及在旋转盘切换至第二位置时将旋转盘限定在第二位置，平晶承托装置具有安装座以及承托部，承托部设置在安装座上，包含承托构件，承托构件具有软性的承托平面。

主权项

1.一种用于测量平晶绝对面形的激光干涉校准测量设备，其特征在于，包括：设备主体，具有准直透镜；参考平晶承载装置，与所述准直透镜同光轴设置；平晶旋转承载装置，与所述参考平晶承载装置同光轴设置，用于作为在水平式测量状态时的待测平晶承载装置；以及平晶承托装置，替代所述平晶旋转承载装置，用于作为在立式测量状态时的待测平晶承载装置，其中，所述平晶旋转承载装置具有固定盘、旋转承载部以及限定部，所述固定盘用于固定安装，所述旋转承载部包含可转动地设置在所述固定盘上并且能够在第一位置和第二位置之间进行切换的旋转盘以及设置在该旋转盘上的待测平晶承载盘，所述限定部用于在所述旋转盘切换至所述第一位置时将所述旋转盘限定在所述第一位置以及在所述旋转盘切换至所述第二位置时将所述旋转盘限定在所述第二位置，包含设置在所述旋转盘的侧表面的一个限位件以及分别位于该限位件的两侧并且沿所述固定盘的圆周方向间隔设置在该固定盘的侧表面的两个阻挡件，所述阻挡件的边缘与所述限位件相接触，用于阻挡所述旋转盘的转动，所述第一位置作为第一限定状态位置，是所述限位件与一个所述阻挡件的边缘相接触时所述限位件所处的位置，所述第二位置作为第二限定状态位置，是所述限位件与另一个所述阻挡件的边缘相接触时所述限位件所处的位置，所述限位件的中心与所述旋转盘的圆心连线分别在所述第一限位状态位置和所述第二限位状态位置时所成的夹角为90°，所述平晶承托装置具有安装座以及承托部，所述安装座用于固定安装，所述承托部设置在所述安装座上，包含承托座以及设置在该承托座上的承托构件，所述承托构件具有软性的承托平面。