[发明专利]一种10.6μm激光窗口抗磁可加热薄膜膜系结构在审
| 申请号： | 201910134962.9 | 申请日： | 2019-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN109901247A | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 刘青龙;米高园;张建付;王松林;韩俊;金柯;杨崇民;王慧娜;黎明;董莹;刘永强;李明伟;杨建军 | 申请（专利权）人： | 西安应用光学研究所 |
| 主分类号： | G02B1/10 | 分类号： | G02B1/10;G02B1/11;H05K9/00;H01B5/14 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人： | 陈星 |
| 地址： | 710065 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提出一种10.6μm激光窗口抗磁可加热薄膜膜系结构，包括红外基片、介质膜层、导电膜层和电极膜层；第一膜层为硫化锌膜层，镀制在所述红外基片的表面上，膜层厚度300～600nm；第二膜层为锗膜层，厚度654±1nm，镀制在第一膜层上；第三膜层为硫化锌膜层，厚度为1232±2nm；第四膜层为锗膜层，厚度618～643nm；第五层为导电膜层，厚度15±1nm；第六层为金属电极膜层，厚度200±5nm，镀制在红外基片镀膜面边缘并与第五层连通；第七膜层为锗膜层，厚度536～636nm；第八层为硫化锌膜层，厚度为1267～1419nm；第九层为锗膜层，厚度320～546nm；第十层为硫化锌膜层，厚度为540～625nm。通过在激光窗口上制备透明导电膜层，使窗口具有除冰和屏蔽电磁功能，提高激光制导系统抗冰霜和电磁能力。 | ||
| 搜索关键词： | 膜层 硫化锌膜层 锗膜层 激光窗口 镀制 导电膜层 第一膜层 膜系结构 可加热 抗磁 薄膜 透明导电膜层 金属电极膜 电磁功能 电极膜层 基片镀膜 激光制导 介质膜层 面边缘 冰霜 屏蔽 除冰 制备 连通 | ||
【主权项】：
1.一种10.6μm红外激光透明导电膜系结构，其特征在于：包括红外基片、介质膜层、导电膜层和电极膜层；其中第一膜层为硫化锌膜层，镀制在所述红外基片的表面上，膜层厚度300～600nm；第二膜层为锗膜层，厚度654±1nm，并镀制在所述第一膜层上；第三膜层为硫化锌膜层，厚度为1232±2nm，并镀制在所述第二膜层上；第四膜层为锗膜层，厚度618～643nm，并镀制在所述第三膜层上；第五层为导电膜层，厚度15±1nm，并镀制在所述第四膜层上；第六层为金属电极膜层，厚度200±5nm，镀制在红外基片镀膜面边缘并与第五层连通；第七膜层为锗膜层，厚度536～636nm，并镀制在所述第五膜层上；第八层为硫化锌膜层，厚度为1267～1419nm，并镀制在所述第七膜层上；第九层为锗膜层，厚度320～546nm，并镀制在所述第八膜层上；第十层为硫化锌膜层，厚度为540～625nm，并镀制在所述第九膜层上。
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