[发明专利]一种磁靴可实时推移的柱型阴极装置

摘要

一种磁靴可实时推移的柱型阴极装置，其包括：气推式磁靴、靶管组件、靶头组件、进气密封座；其中气推式磁靴内设置有可通入冷却水及压缩空气的水气芯，并粘接有橡胶圈、磁轭，水气芯与粘接橡胶内侧之间设置有进气腔，橡胶外侧粘接磁轭，其原理是利用橡胶及水气芯之间进气腔内气压变化所造成的轴表面推移来实现磁轭的推移，从而实现柱状阴极内磁靴的移动；同时利用控制程序根据靶材的使用时间来实现磁靴的实时自动移动。本发明不仅可极大的提高工艺过程的重复性，而且靶材利用率有很大的提升，适用于磁控溅射及电弧离子镀柱形阴极，可应用于高精密、贵金属薄膜沉积过程。

主权项

1.一种磁靴可实时推移的柱型阴极装置，其特征在于：包括气推式磁靴、靶管组件、靶头组件及进气密封座；其中：所述气推式磁靴包括水气芯、橡胶圈、上下螺纹套、卡位环、上下压盖及磁轭；所述橡胶圈套设在所述水气芯上，所述橡胶圈外缘的上下端与所述上下螺纹套粘接；所述卡位环和所述磁轭对称粘接在所述橡胶圈上；所述上下压盖装配在所述上下螺纹套上；所述靶管组件包括屏蔽罩、绝缘套、靶管、靶管上连接管及靶管上下压板组件，所述靶管上连接管与所述靶管传动连接；所述绝缘套套装在所述靶管上下压板组件上，所述屏蔽罩与所述靶管之间的电位绝缘，所述靶管上连接管与所述靶管通过靶管上压板密封连接；所述靶头组件包括真空密封座、转动齿、进水口及回水组件，所述靶头组件套装在所述靶管组件的靶管上连接管上，并通过真空密封座与真空腔室形成真空密封；所述回水组件包括回水转动套、回水转动套盖、磁芯转动套、磁芯转动套盖，其中回水组件固定在所述真空腔室外；所述回水转动套内套装设有卡环、两个J型密封圈、回水环及转动轴承；所述进气密封座为环形套结构，所述进气密封座套装在所述气推式磁靴的水气芯上；并通过水气芯螺纹压紧。