[发明专利]处理边缘环的方法、基底处理系统和图像传感器在审

专利信息
申请号: 201910131541.0 申请日: 2019-02-22
公开(公告)号: CN110690095A 公开(公告)日: 2020-01-14
发明(设计)人: 李仔雨;金建佑;金善昈;金应秀;尹宝拉;李炫定;赵泰逸 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: H01J37/32 分类号: H01J37/32;H04N5/369
代理公司: 11286 北京铭硕知识产权代理有限公司 代理人: 尹淑梅;薛义丹
地址: 韩国京畿*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 提供了处理边缘环的方法、基底处理系统和图像传感器。在所述方法中,利用传送机器人将第一边缘环从处理模块内的基底支撑件去除。然后,利用传送机器人将第二边缘环放置在基底支撑件上。利用传送机器人将图像传感器(例如,圆盘形的无线图像传感器)设置在第二边缘环之上。图像传感器产生图像信息,所述图像信息被分析以确定第二边缘环的对准。
搜索关键词: 边缘环 传送机器人 图像传感器 基底支撑件 图像信息 无线图像传感器 基底处理系统 处理模块 圆盘形 去除 对准 分析
【主权项】:
1.一种处理边缘环的方法,所述方法包括:/n利用传送机器人将第一边缘环从处理模块内的基底支撑件去除;/n利用传送机器人将第二边缘环放置在基底支撑件上;/n利用传送机器人将图像传感器设置在第二边缘环之上;/n利用图像传感器产生图像信息;以及/n分析图像信息以确定第二边缘环的对准。/n
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