[发明专利]轮廓提取方法、轮廓提取装置及非易失性记录介质在审

专利信息
申请号: 201910127424.7 申请日: 2019-02-20
公开(公告)号: CN110889417A 公开(公告)日: 2020-03-17
发明(设计)人: 井田知宏;坂田幸辰 申请(专利权)人: 东芝存储器株式会社
主分类号: G06K9/46 分类号: G06K9/46;G06T7/13;G06T7/00
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 杨林勳
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 实施方式涉及一种轮廓提取方法、轮廓提取装置及非易失性记录介质。实施方式的轮廓提取方法是从使用电子束所获得的图像中提取对象物的轮廓的轮廓提取方法,且包含如下步骤:从背向散射电子像提取对象物的轮廓;制作将二次电子像与轮廓建立关联的词典,所述二次电子像是在与背向散射电子像相同的部位获得的;针对新获取的二次电子像,参照词典,在新获取的二次电子像的多个位置算出对象物的轮廓的似然度;以及从多个位置之中将似然度的总和最大的路径设为对象物的轮廓。
搜索关键词: 轮廓 提取 方法 装置 非易失性 记录 介质
【主权项】:
暂无信息
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