[发明专利]一种剥离多层二维材料的装置在审

专利信息
申请号: 201910080503.7 申请日: 2019-01-28
公开(公告)号: CN109650393A 公开(公告)日: 2019-04-19
发明(设计)人: 邓庆明 申请(专利权)人: 淮阴师范学院
主分类号: C01B33/02 分类号: C01B33/02;C01B33/021;B82Y30/00;B82Y40/00
代理公司: 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 代理人: 吴肖敏
地址: 223001 江苏省淮安*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种剥离多层二维材料的装置,包括安装板、导向板与限位机构,所述安装板横向设置,安装板上开设有导轨槽,且其外侧设置有驱动装置;所述导轨槽上滑动连接有滑动板,滑动板侧端面可沿导轨槽长度方向移动,滑动板与侧端面相邻的底端面上设置有齿条,且所述齿条与驱动装置对应配合;所述滑动板上开设有隔热槽,隔热槽内容纳有衬底载物台,衬底载物台用于放置硅片二维材料,其包括加热片与温度传感器,且温度传感器设置于加热片顶端面;所述导向板固接于安装板一侧,导向板上设置有导向轨道,且所述导向轨道上设置有限位机构。
搜索关键词: 安装板 滑动板 二维材料 导轨槽 导向板 温度传感器 导向轨道 驱动装置 侧端面 隔热槽 加热片 载物台 衬底 齿条 多层 剥离 长度方向移动 横向设置 滑动连接 外侧设置 限位机构 顶端面 硅片 底端 固接 配合
【主权项】:
1.一种剥离多层二维材料的装置,其特征在于,包括安装板(1)、导向板(2)与限位机构(6),所述安装板(1)横向设置,安装板(1)上开设有导轨槽(101),且其外侧设置有驱动装置(4);所述导轨槽(101)上滑动连接有滑动板(3),滑动板(3)侧端面可沿导轨槽(101)长度方向移动,滑动板(3)与侧端面相邻的底端面上设置有齿条(31),且所述齿条(31)与驱动装置(4)对应配合;所述滑动板(3)上开设有隔热槽(32),隔热槽(32)内容纳有衬底载物台(5),衬底载物台(5)用于放置硅片二维材料,其包括加热片(51)与温度传感器(52),且温度传感器(52)设置于加热片(51)顶端面;所述导向板(2)固接于安装板(1)一侧,导向板(2)上设置有导向轨道(21),且所述导向轨道(21)上设置有限位机构(6);所述限位机构(6)包括驱动座(61)与限位板(62),驱动座(61)与导向轨道(21)滑动连接,限位板(62)固连于驱动座(61)一侧,其可在驱动座(61)的带动下沿导向轨道(21)移动;所述限位板(62)上开设有滑动槽(621),滑动槽(621)倾斜设置,且其上分别设置有夹紧体一(7)与夹紧体二(8)。
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