[发明专利]一种磁控溅射装置和托盘检测方法有效
| 申请号： | 201910062031.2 | 申请日： | 2019-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN109811323B | 公开（公告）日： | 2023-09-08 |
| 发明（设计）人： | 李新颖;武学伟;刘玉杰;董博宇;文莉辉;武树波;杨依龙;郭冰亮;宋玲彦;赵晨光;马迎功;杨建;张家昊;陈玉静;张璐 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京正和明知识产权代理事务所(普通合伙) 11845 | 代理人： | 冯志慧 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种磁控溅射装置和托盘检测方法，该装置包括：腔室，所述腔室内设有用于承载托盘的基座；传感器，所述传感器能发射和/或接收沿直线路径传播的探测信号，且所述探测信号的路径平行于所述基座的承载表面，以检测所述基座上的托盘；以及控制部件，所述控制部件接收所述传感器的状态信号，根据所述状态信号判断所述基座上托盘的状态。通过上述方案，传感器的检测范围与托盘的厚度相匹配，能够对是否存在托盘和托盘是否破损进行识别；有效解决磁控溅射的腔室中托盘状态无法及时检测的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 装置 托盘 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种磁控溅射装置，其特征在于，所述装置包括：腔室，所述腔室内设有用于承载托盘的基座；传感器，所述传感器能发射和/或接收沿直线路径传播的探测信号，且所述探测信号的路径平行于所述基座的承载表面，以检测所述基座上的托盘；以及控制部件，所述控制部件接收所述传感器的状态信号，根据所述状态信号判断所述基座上托盘的状态。
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