[发明专利]一种新型涂布机及其涂布方法有效
申请号: | 201910043144.8 | 申请日: | 2019-01-17 |
公开(公告)号: | CN109668900B | 公开(公告)日: | 2021-07-06 |
发明(设计)人: | 刘子琪 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | G01N21/94 | 分类号: | G01N21/94 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种新型涂布机,包括:传动装置、擦拭装置、口金以及光学探测装置;其中,所述传动装置包括:工作台、滚轮、导轨以及传送带;所述擦拭装置设置在所述传动装置上方,与所述传送带之间保持一定的距离;所述口金正对所述传送带进行设置,用于对所述传送带上的基板进行涂布;所述光学探测装置设置在所述工作台上,所述光学探测器可以发射光波和接收光波,还可以对发出和接收到的光波信号进行比较;所述光学探测装置上还设置有两个信号灯,所述信号灯用于反馈检测到的信号;有益效果:通过提供一种新型的涂布机,可以在每次进行涂布动作前,对口金的出液口进行检测,确保口金出液口处无异物时,再开始进行涂布工作,提高了涂布的成功率。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 涂布机 及其 方法 | ||
【主权项】:
1.一种新型涂布机,其特征在于,包括:传动装置、擦拭装置、口金以及光学探测装置;其中,所述传动装置包括:工作台、滚轮、导轨以及传送带;所述擦拭装置设置在所述传动装置上方,与所述传送带之间保持一定的距离;所述口金正对所述传送带进行设置,用于对所述传送带上的基板进行涂布;所述光学探测装置设置在所述工作台上,所述光学探测器可以发射光波和接收光波,还可以对发出和接收到的光波信号进行比较;所述光学探测装置上还设置有两个信号灯,所述信号灯用于反馈检测到的信号。
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