[发明专利]制造微加工通道的方法有效
| 申请号： | 201880067983.7 | 申请日： | 2018-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN111247090B | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 怡园·赵;亨克-威廉·维特坎普;雅香·曾;乔斯特·康拉德·洛特斯;雷姆科·约翰·维格林克 | 申请（专利权）人： | 伯金公司;特文特大学;技术科学基金会 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 南霆 |
| 地址： | 荷兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种制造微加工通道的方法，包括以下步骤：提供第一材料的基底并具有位于该基底中的不同材料的埋层；以及，通过去除所述基底中的至少一部分从而在所述基底中形成至少两个沟槽。所述沟槽彼此隔开一距离，至少部分地基本上平行于彼此延伸，以及朝着所述埋层延伸。该方法包括以下步骤：通过提供不同于所述第一材料的第二材料并且至少以所述第二材料填充所述至少两个沟槽从而形成至少两个被填充的沟槽；通过去除在所述被填充的沟槽之间延伸的所述基底的至少一部分从而在所述被填充的沟槽之间形成长形腔；以及，通过在所述腔中提供材料层并且封闭所述腔从而形成被封闭的通道。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 加工 通道 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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