[发明专利]MEMS声音传感器、MEMS麦克风及电子设备有效
| 申请号： | 201880025699.3 | 申请日： | 2018-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN110546965B | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 何宪龙;谢冠宏;邱士嘉;林久雄 | 申请（专利权）人： | 共达电声股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R7/16 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 戴志攀 |
| 地址： | 261200 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种MEMS声音传感器，包括：背板，开设有多个声孔；振膜，与所述背板相对设置且与所述背板之间存在间隙；所述振膜和所述背板构成电容结构；以及连接柱，包括相对设置的第一端和第二端；所述连接柱的第一端与所述背板固定连接；所述连接柱的第二端至少部分的材料嵌入所述振膜且与所述振膜电性连接，以将所述振膜悬挂于所述背板上。 | ||
| 搜索关键词： | mems 声音 传感器 麦克风 电子设备 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS声音传感器，其特征在于，包括：/n背板，开设有多个声孔；/n振膜，与所述背板相对设置且与所述背板之间存在间隙；所述振膜和所述背板构成电容结构；以及/n连接柱，包括相对设置的第一端和第二端；所述连接柱的第一端与所述背板固定连接；所述连接柱的第二端至少部分的材料嵌入所述振膜且与所述振膜电性连接，以将所述振膜悬挂于所述背板上。/n
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