[实用新型]基板处理装置

摘要

本实用新型提供一种基板处理装置。抑制输送时的基板处理装置的高度，且容易地设置输送后的基板处理装置。处理晶圆的基板处理装置具备：装置主体(2)，其对晶圆实施预定的处理；壳体(400)，其收容预定零部件，且相对于装置主体(2)的顶面(2a)拆装自由；插头部(410)，其设置于壳体(400)，且与预定零部件连接起来；插座部(310)，其设置于顶面(2a)，且与插头部(410)嵌合；引导部(300)，其设置于顶面(2a)，且用于使壳体(400)向X方向正方向移动；以及连接辅助机构，其使壳体(400)向X方向正方向移动，同时使插头部(410)和插座部(310)嵌合。

主权项

1.一种基板处理装置，其是对基板进行处理的基板处理装置，其特征在于，该基板处理装置具备：装置主体，其对基板实施预定的处理；壳体，其收容预定零部件，且相对于所述装置主体的上部拆装自由；壳体侧连接部，其设置于所述壳体，且与所述预定零部件连接起来；主体侧连接部，其设置于所述装置主体的上部，且与所述壳体侧连接部嵌合；引导部，其设置于所述装置主体的上部，且用于使所述壳体向一方向移动；以及连接辅助机构，其使所述壳体向所述一方向移动，并且使所述壳体侧连接部和所述主体侧连接部嵌合。