[实用新型]硅片插片机上硅片花篮的输入及输出机构

摘要

本实用新型公开了一种高效全自动无缝更换硅片花篮的硅片插片机上硅片花篮的输入及输出机构，包括分别设置在插片机机架两侧的满料花篮输出装置和回流空料花篮输入装置，机架上设有下滑轨，下滑轨上设有水平活动座，机架上设有驱动水平活动座的水平伺服动力装置，水平活动座上设有两个竖向滑动的竖向滑座以及分别驱动两个竖向滑座的竖向伺服动力装置，竖向滑座上设有容置硅片花篮的花篮定位座，水平伺服动力装置驱动水平活动座上的两个竖向滑座分别与插片机的硅片输入皮带位置相配合；机架上在下滑轨上方设有龙门架，龙门架上设有将硅片花篮在满料花篮输出装置、竖向滑座、及回流空料花篮输入装置间传送的取篮装置。

主权项

1.一种硅片插片机上硅片花篮的输入及输出机构，包括分别设置在插片机机架两侧的满料花篮输出装置和回流空料花篮输入装置，其特征在于：所述机架上在满料花篮输出装置和回流空料花篮输入装置间设有下滑轨，下滑轨上设有水平活动座，机架上设有驱动水平活动座的水平伺服动力装置，水平活动座上设有两个竖向滑动的竖向滑座以及分别驱动两个竖向滑座的竖向伺服动力装置，竖向滑座上设有容置硅片花篮的花篮定位座，水平伺服动力装置驱动水平活动座上的两个竖向滑座分别与插片机的硅片输入皮带位置相配合；机架上在下滑轨上方设有龙门架，龙门架上设有将硅片花篮在满料花篮输出装置、竖向滑座、及回流空料花篮输入装置间传送的取篮装置，取篮装置包括设置在龙门架上的与下滑轨平行的上滑轨，上滑轨的两端分别位于满料花篮输出装置和回流空料花篮输入装置的上方，上滑轨上设有上活动座，龙门架上设有驱动上活动座的上动力装置，上活动座上设有上下运动的夹料座以及驱动夹料座的夹料动力装置，夹料座上设有转动座以及驱动转动座的90°正反转动的转动电机，转动座下部设有夹持硅片花篮的气动夹手。