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公布日期
2019-08-13 公布专利
2019-08-09 公布专利
2019-08-06 公布专利
2019-08-02 公布专利
2019-07-30 公布专利
2019-07-26 公布专利
2019-07-23 公布专利
2019-07-19 公布专利
2019-07-16 公布专利
2019-07-12 公布专利
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压电薄膜麦克风改良结构有效

申请号: CN201821645803.2 全文下载
申请日: 2018-10-11 公开/公告日: 2019-06-14
公开/公告号: CN208987175U 主分类号: H04R17/02
申请/专利权人: 东莞希越电子有限公司
发明/设计人: 罗超;何维嵩
分类号: H04R17/02;H04R17/00
搜索关键词: 悬臂梁 压电薄膜 振动板 压电叠层 覆盖膜 硅晶圆 衬底 麦克风 改良结构 空腔 变形 本实用新型 电信号输出 并联输出 上下表面 压电信号 一端连接 电极层 末端处 上表面 附设 声压 感知 串联 分割 覆盖 制作 自由
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【摘要】:
实用新型涉及压电薄膜麦克风改良结构,其具有硅晶圆衬底,该硅晶圆衬底设有空腔,在空腔的一端头上设有振动板,以及在振动板的上表面附设感知压电信号的压电叠层,压电叠层具有压电薄膜及设在压电薄膜上下表面的电极层;覆盖在空腔上的振动板以及在振动板上的压电叠层一起分割形成多个一端连接硅晶圆衬底的悬臂梁,所有悬臂梁上的电信号根据使用要求被串联或者并联输出;所有悬臂梁的自由端由覆盖膜连接在一起。这样,内应力造成的悬臂梁变形受到覆盖膜的约束,从而显著提高了悬臂梁的姿态一致性。另外由于悬臂梁在末端处被覆盖膜连接在一起,受到声压作用时,悬臂梁的变形也将保持同步从而提高电信号输出的稳定性,结构简单,制作成本低。
 
【主权项】:
1.压电薄膜麦克风改良结构,其特征在于:具有硅晶圆衬底(1),该硅晶圆衬底(1)设有空腔(11),在空腔(11)的一端头上设有振动板(2),以及在振动板(2)的上表面附设感知压电信号的压电叠层(3),所述压电叠层(3)至少具有一层压电薄膜(31)及设在压电薄膜(31)上下表面的电极层(32);所述覆盖在空腔(11)上的振动板(2)以及在振动板(2)上的压电叠层(3)一起分割形成多个一端连接硅晶圆衬底(1)的悬臂梁,所有悬臂梁上的电信号根据使用要求被串联或者并联输出;所有悬臂梁的自由端由覆盖膜(4)连接在一起。
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