[实用新型]一种常压CVD设备的冷却水循环系统

摘要

本实用新型公开了一种常压CVD设备的冷却水循环系统，包括热交换器、循环水箱、循环泵、流量计、喷头，所述的循环泵与流量计之间的管路上安装有第一单向阀；所述的喷头与热交换器之间的管路上安装有常闭阀,所述的常闭阀的两端安装有回路支管；所述的第一单向阀、流量计之间的管路与冷却水进水管之间安装有应急进水管路；所述的常闭阀、喷头之间的管路与冷却水出水管之间安装有应急出水管路；所述的应急进水管路、应急出水管路上分别安装有常开阀；所述的常开阀之后的应急进水管路上还安装有第二单向阀。采用本实用新型后，可有效避免电力异常后喷头出现高温烘烤变形异常，减少设备损失。

主权项

1.一种常压CVD设备的冷却水循环系统，包括热交换器(1)、循环水箱(2)、循环泵(3)、流量计(4)、喷头(5)，其中所述热交换器(1)分别与冷却水进水管(6)、冷却水出水管(7)相连；所述的热交换器(1)通过管路与循环水箱(2)相连；所述的循环水箱(2)通过管路与喷头(5)相连，且所述的循环水箱(2)与喷头(5)之间的管路上安装有循环泵(3)和流量计(4)；所述的喷头(5)通过管路与热交换器(1)相连；其特征在于：所述的循环泵(3)与流量计(4)之间的管路上安装有第一单向阀(8)；所述的喷头(5)与热交换器(1)之间的管路上安装有常闭阀(9),所述的常闭阀(9)的两端安装有回路支管(10)；所述的第一单向阀(8)、流量计(4)之间的管路与冷却水进水管(6)之间安装有应急进水管路(14)；所述的常闭阀(9)、喷头(5)之间的管路与冷却水出水管(7)之间安装有应急出水管路(11)；所述的应急进水管路(14)、应急出水管路(11)上分别安装有常开阀(12)；所述的常开阀(12)之后的应急进水管路(14)上还安装有第二单向阀(13)。