[实用新型]真空镀膜机冷却装置有效
| 申请号： | 201820146520.7 | 申请日： | 2018-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN207793406U | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | 黄启泰;倪颖;任建锋;王毅 | 申请（专利权）人： | 苏州六三二八光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C16/44 |
| 代理公司： | 南京常青藤知识产权代理有限公司 32286 | 代理人： | 黄胡生 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供真空镀膜机冷却装置，具体涉及真空镀膜机技术领域，包括真空镀膜仓和制冷水箱以及回收水箱，所述真空镀膜仓的侧壁包括内壁和外壁，所述内壁和所述外壁之间形成容纳腔，所述真空镀膜仓的两侧的所述内壁均并列设置多个管壳，所述管壳的一端与所述制冷水箱的出水管连通，另一端与所述制冷水箱的进水管连通，所述内壁设有多个喷水口，所述喷水口与所述管壳连通，所述容纳腔的一端设有第一出水口，所述第一出水口与所述回收水箱相连。本实用新型设有管壳和喷水口对真空镀膜仓内部和真空镀膜仓的侧壁同时进行降温，从而达到冷却效果。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 管壳 内壁 真空镀膜机 制冷水箱 喷水口 本实用新型 回收水箱 冷却装置 出水口 容纳腔 侧壁 外壁 连通 出水管连通 并列设置 冷却效果 进水管 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜机冷却装置，其特征在于，包括真空镀膜仓和制冷水箱以及回收水箱，所述真空镀膜仓的侧壁包括内壁和外壁，所述内壁和所述外壁之间形成容纳腔，所述真空镀膜仓的两侧的所述内壁均并列设置多个管壳，所述管壳的一端与所述制冷水箱的出水管连通，另一端与所述制冷水箱的进水管连通，所述内壁设有多个喷水口，所述喷水口与所述管壳连通，所述容纳腔的一端设有第一出水口，所述第一出水口与所述回收水箱相连。
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